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　　菲希爾X射線測(cè)厚儀 XDL240 是一款德國菲希爾公司生產(chǎn)的 x 射線熒光測(cè)厚儀，以下從其測(cè)量原理、硬件性能、軟件與數(shù)據(jù)處理、應(yīng)用領(lǐng)域等方面進(jìn)行介紹：
 

　　測(cè)量原理：運(yùn)用 X 射線熒光光譜法，通過測(cè)量樣品受激發(fā)后發(fā)出的 X 射線熒光強(qiáng)度和能量，來確定鍍層的厚度和成分。該方法采用無損檢測(cè)方式，具備自動(dòng)聚焦功能，可保障樣品完整性與測(cè)量準(zhǔn)確性2。
 

　　硬件性能2
 

　　移動(dòng)平臺(tái)：配備動(dòng) X/Y 平臺(tái)，移動(dòng)范圍≥95x150mm，可用工作臺(tái)面≥420x450mm，能滿足多樣品放置與測(cè)量需求；當(dāng)保護(hù)門開啟時(shí)，工作臺(tái)會(huì)自動(dòng)移到放置樣品的位置，方便操作。
 

　　電動(dòng) Z 軸：電動(dòng) Z 軸支持手動(dòng) / 自動(dòng)聚焦，移動(dòng)范圍≥140mm，可適配不同高度的樣品，確保測(cè)量時(shí)樣品處于最佳位置。
 

　　DCM 技術(shù)：采用測(cè)量距離補(bǔ)償法(DCM)，可實(shí)現(xiàn) 80mm 深度的腔體樣品遠(yuǎn)距離對(duì)焦測(cè)量，有效解決了深腔樣品測(cè)量難題。
 

　　高壓調(diào)節(jié)：可變高壓支持 30KV、40KV、50KV 三檔調(diào)節(jié)，可根據(jù)不同的測(cè)試樣品和場(chǎng)景，靈活選擇合適的高壓，以獲得最佳的測(cè)量結(jié)果。
 

　　準(zhǔn)直器：標(biāo)配 φ0.3 的圓形準(zhǔn)直器，可提升測(cè)量精度，同時(shí)還有 φ0.1mm、φ0.2mm 及長(zhǎng)方形 0.3mmx0.05mm 等多種準(zhǔn)直器可供選擇，滿足不同測(cè)量需求。
 

　　X 射線探測(cè)器：采用比例接收器，能夠穩(wěn)定接收信號(hào)，確保測(cè)量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和可靠性。
 

　　攝像頭：內(nèi)置高分辨率 CCD 攝像頭，放大倍數(shù) 40-160 倍，便于樣品觀察定位，沿初級(jí) X 射線光束方向觀察測(cè)量位置；配備手動(dòng)聚焦、十字線(帶有經(jīng)過校準(zhǔn)的刻度和測(cè)量點(diǎn)尺寸)以及可調(diào)節(jié)亮度的 LED 照明，還有激光光點(diǎn)用于準(zhǔn)確定位樣品，方便操作人員快速、準(zhǔn)確地放置和定位樣品。