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激光干涉儀其*性表現(xiàn)在哪里呢?
更新時(shí)間:2020-12-29   點(diǎn)擊次數(shù):1385次
   激光干涉儀是一種以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行測量的儀器。其主要在:線形、角度、垂直度、直線度、平面度等方面上應(yīng)用。隨著激光干涉儀測量技術(shù)的不斷提高,測量軟件的不斷開發(fā)其測量范圍越來越廣泛,特別是在測量數(shù)控機(jī)床位置精度方面用途廣泛。
  激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個(gè)反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會(huì)有一個(gè)探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉。
  激光干涉儀的*性主要有以下幾點(diǎn):
  1. 精度高 激光干涉儀以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行度量的儀器。即使不做細(xì)分也可達(dá)到μm 量級(jí),細(xì)分后更可達(dá)到n m量級(jí)。(安捷倫5530激光干涉儀線性精度能達(dá)到0.4PPM)
  2. 應(yīng)用范圍廣 激光干涉儀除了可用于長度的精密測量外,測量角度、直線度、平面度、振動(dòng)距離及速度等等,還可以分光進(jìn)行多路測量。
  3. 環(huán)境適應(yīng)力強(qiáng) 即使光強(qiáng)衰減 90%,仍然可以得到有效的干涉信號(hào)。由于這一特點(diǎn),雙頻激光干涉儀既可在恒溫、恒濕、防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊、量桿、刻尺、微分校準(zhǔn)器和坐標(biāo)測量機(jī),也可以在普通的車間內(nèi)為大型的機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。
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